와이씨켐이 극자외선(EUV) 노광 공정용 소재를 SK하이닉스에 공급한다. 지금까지 독일 소재 기업이 장악해 온 첨단 제품으로, 국산화 및 상용화에 성공했다.
8일 업계에 따르면 와이씨켐은 SK하이닉스로부터 EUV용 린스 구매 주문(PO)을 받고, 양산에 돌입한 것으로 파악됐다. 회사가 EUV 린스를 개발한 후 고객사에 공급하는 건 처음이다.
EUV용 린스는 반도체 웨이퍼 위에 회로를 구현하는 감광액(PR)을 도포한 후 사용하는 소재다. EUV 공정 중 발생하는 이물을 제거하고, 반도체 회로 패턴이 무너지거나 결함이 발생하는 것을 막는다. EUV가 초미세 회로를 그리는 공정인 만큼, 회로를 안정화하는 린스 역할이 매우 중요하다.
와이씨켐은 2022년 EUV용 린스를 개발하고, 여러 반도체 업체들과 테스트를 진행해오다 올해 초 SK하이닉스 평가를 최종 통과하면서 공급으로 이어졌다.
사안에 정통한 업계 관계자는 “와이씨켐 린스는 회로 붕괴를 막고 결함 발생을 최소화하는 성능에서 높은 평가를 받은 것으로 안다”고 전했다.
SK하이닉스는 와이씨켐 린스를 최신 고대역폭메모리(HBM)를 만드는 D램 공정에 적용하는 것으로 파악됐다. 5세대 HBM(HBM3E)용 D램, 즉 D1b가 대상이다.
와이씨켐 공급 사례는 EUV용 핵심 소재를 국산화한 동시에 글로벌 소재 기업들이 주도한 분야에 진입했다는 점에서 의미가 커 보인다.
EUV용 린스는 독일 머크와 바스프가 세계 시장을 장악하고 있다. 고가의 첨단 반도체를 만드는 EUV 공정용 소재여서 시장 진입 장벽이 높았다.
와이씨켐은 SK하이닉스 공급으로 글로벌 EUV 공정 시장에 본격 진출하는 계기가 될 것으로 분석된다. EUV 공정을 도입하는 반도체 제조사가 늘고 있는 만큼, EUV 린스는 수요 증가가 예상된다.
현재 EUV 공정은 메모리 뿐 아니라 반도체 위탁생산(파운드리) 업계에서도 사용하고 있다. 메모리에서는 삼성전자·SK하이닉스·마이크론이, 파운드리에서는 삼성전자·TSMC·인텔이 EUV 장비를 도입, 운용 중이다.
